کامپیوترهای کوانتومی

طرح‌نگار نوری

لیتوگرافی نوری یا طرح نگاری نوری (به انگلیسی: Photolithography)

در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم) روی سطح زیرلایه، پرتو همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد می‌کند. در فرایند طرح نگاری نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین می‌شوند؛ این فرایند بسیار شبیه به مهرسازی با نور فرابنفش میباشد و در صنعت ساخت ادوات الکترونیک نقش مهمی برعهده دارد.

از زمان اختراع طرح نگاری نوری توسط نایپسه تا به الان منابع انرژی متفاوتی برای این کار استفاده شده، که منجر به ایجاد خانواده‌های مختلف طرح نگاری شده است: فوتون فرابنفش، اشعه ایکس، الکترون. علت اصلی استفاده از طول موج‌های کوتاه، رسیدن به ظرافت بیشتر در ساخت ادوات الکترونیک است.
در حال حاضر فرایند اصلی ساخت ادوات الکترونیک بر پایهٔ طرح نگاری نوری فرا بنفش است، که با طیف طول موج‌های بین ۳۰۰ تا ۴۵۰ نانومتر سر و کار دارد. در این مقاله در مورد این نوع خاص طرح نگاری بحث می‌کنیم.
محتویات
۱ ماسک در طرح نگاری نوری
۲ نشاندن پلیمر حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم)
۳ مرحله تابش (انتقال طرح به پلیمر واسط)
۴ پلیمرهای واسط متعارف
۵ منابع
۶ لینک مفید
۷ جستارهای وابسته
ماسک در طرح نگاری نوری

ماسک
LAC1.JPG
ماسک‌ها درواقع صفحات کوارتزی هستند که بر رویشان با کُروم الگویی همانند شکل۱ داده شده است. بدیهی است که ساخت یک قطعه با دقت بسیار بالای هندسی و دقیقاً مشابه ماسک امکان پذیر نیست. برای ساخت ماسک‌ها از باریکهٔ الکترونی با دقتی حدود کسری از میکرومتر استفاده می‌شود. این تکنیک لیتروگرافی الکترونی است که با جزئیات در اینجا مورد مطالعه قرار نمی‌گیرد. اگر دقت زیر میکرومتری در دسترس نباشد از روش‌های دیگری نظیر ژل، پرینت با کیفیت بالا روی ماده شفاف و... استفاده می‌شود.
نشاندن پلیمر حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم)
پس از ساخت ماسک، قسمت بالایی سطح پایه با یک پلیمر حساس به نور پوشانده می‌شود، پس از آن، سطح در معرض باریکهٔ یکنواخت قرار داده می‌شود. بدین صورت نواحی تاریک و روشنی ایجاد می‌شود که الگویی مشابه ماسک را پدید می‌آورد. این مرحله به مرحلهٔ انتقال الگو نیز شناخته می‌شود. پلیمر حساس به نور در حد یک لایهٔ بسیار نازک روی سطح پایه‌ای از جنس سیلیکون یا شیشه قرار می‌گیرد. برای نشاندن پلیمر از spincoater همانطور که در شکل ۲ نشان داده شده، استفاده می‌شود[۱].
LA2.JPG
این دستگاه از دیسکی تشکیل شده که با سرعت بالا حدود ۱۰۰۰ و ۱۰۰۰۰ rpm می‌چرخد و باعث پخش قطرات مایعی می‌شود که در ابتدا در مرکز دیسک قرار دارد. ضخامت h ای که بر سطح نشانده می‌شود یکنواخت است. (حدود چند ده نانو متر است.) مدل تجربی ای که برای این ارتفاع نوشته شده است به صورت زیر می‌باشد:
{\displaystyle h=kC\left({\frac {\mu }{\omega 2}}\right)^{1/3}} {\displaystyle h=kC\left({\frac {\mu }{\omega 2}}\right)^{1/3}}
کهC تراکم اولیهٔ پلیمر در محلول است، k ثابت است، ω سرعت زاویه‌ای چرخش دیسک است و μ گرانروی است. ضخامت تعادلی در مدت زمان طولانی رخ می‌دهد و به تجربه، رسیدن به تعادل چند دقیقه طول می‌کشد. اگر پلیمر واسط رفتار نیوتنی داشته باشد، هر چه زمان بگذرد لایه نازک و نازکتر می‌شود و هیچ ضخامت تعادلی وجود ندارد. با این حال، در مورد پلیمر واسط حساس به نور باید گفته شود که این مایع رفتار غیر نیوتنی را داراست. بخصوص اینکه با گذشت زمان گرانروی پلیمر واسط به علت تبخیر حلال زیاد می‌شود و این باعث پیش-شبکه بندی یک پلیمر می‌شود. در پایان فرایند نشاندن، فیلم نشانده شده هیچ شباهتی به مایع ندارد و بیشتر شبیه شیشه است. و این به مفهومی برای ضخامت تعادلی منجر می‌شود که با فرمول قبل محاسبه می‌شود و توجیه چرایی این مسئله نیز امری نسبتاً دشوار است. معمولاً ضخامت فیلمی که برای قلم کاری مرطوب و خشک لازم است برای سیلکون ۲ میکرومتر است. خواهیم دید که دقت الگو با افزایش ضخامت ماسک کاهش می‌یابد، و این همان دلیلی است که نشان می‌دهد چرا فیلم نازک مورد توجه‌مان است. از جهاتی دیگر، نشاندن خیلی نمی‌تواند نازک باشد، چون به صورت شیمیایی به هم متصل شده‌اند. و این باعث می‌شود که ضخامت پلیمر حساس به نور نشانده شده در حدود میکرومتر یا چند میکرومتر باشد. در طول چند سال گذشته، پلیمرهای به شدت حساسی مثل پلیمرهای واسطی SU8 یا AZ-seriesنه فقط برای ساختن قالب بلکه برای ساخت، ساختارهایی روی سیلیکون یا شیشه انتخاب شده است. ساختارهایی مثل کانال‌هایی که سطحشان از مواد پلیمری تشکیل شده یا چرخ دنده‌های ساخته شده از پلیمرهای واسط. در این حالت، لایهٔ نشانده شدهٔ پلیمر ضخامتش چند میکرومتراست. سختی کار در اینجا نشاندن لایه نیست بلکه همانطور که دیده خواهد شد تاباندن همگن نور در مرحلهٔ تابش است. در طول اینکه پلیمر واسط روی سطح پایه نشانده می‌شود، حلال تبخیر می‌شود و در نهایت لایهٔ نشانده شده به یک جامد نرم تبدیل می‌شود. اما در این مرحله لایه هنوز با خودش مقدار ۱۵% حلال را دارد. اگر حلال در لایه وجود داشته باشد، ترک‌هایی روی لایه وقتی که به طور کامل مشبک شد، پدیدار می‌شود. برای حذف کامل حلال پیش از مرحلهٔ تابش، لایه در دمای ۷۰ درجهٔ سانتی گراد برای چند دقیقه حرارت داده می‌شود.
مرحله تابش (انتقال طرح به پلیمر واسط)
پس از حرارت دوباره، پلیمر و سطح پایه با دقتی حدود ۵ میکرومتر تنظیم می‌شوند. فیلم در معرض نوری قرار می‌گیرد که پس از عبور ماسک طرح نگاری نوری به آن می‌رسد. اغلب، منبع نوری یک لامپ بخار جیوه است که توان نوری که تحویل می‌دهد از ۱۰ تا ۲۰ میلی وات است و طول موجش بین ۳۰۰ تا ۴۵۰ نانومتر است. اساساً، تابش نوری واکنش‌های فیزیکی – شیمیایی ای را در پلیمر به کار می‌اندازد، و قابلیت انحلال در حلال‌های مشخص را تغییر می‌دهد. دو نوع پلیمر واسط وجود دارد. مثبت و منفی. پلیمر واسط مثبت: ناحیهٔ نور خورده، قابلیت انحلال در یک حلال خاص را دارد، در حالی که بقیهٔ ناحیه‌ها حل نشدنی باقی می‌ماند. پلیمر واسط منفی: ناحیهٔ نور خورده، قابلیت انحلال در یک حلال خاص را ندارد، در حالی که بقیه ناحیه‌ها در همان حلال حل می‌شوند. بنابراین، برای پلیمر واسط مثبت، تابش از وسط ماسک طرح نگاری نوری ناحیه‌ای را تعریف می‌کند که در صورت غوطه ور شدن کل سطح در مایع این ناحیه حل می‌شود و تشکیل چاله‌ای را می‌دهد، در حالی که باقی جاهای سطح به همان صورت باقی می‌ماند. از منظر فیزیکی، مادهٔ مورد نظر باید برای نور به اندازه کافی شفاف باشد تا اجازهٔ عبور نور از کل ضخامت لایهٔ نشانده شده را بدهد، و به قدر کافی در برابر نور حساس باشد آن طور که باعث تحریک واکنش‌های شیمیایی شود. این تعادل ظریف، ضخامت تعداد زیادی از پلیمرهای واسطی حساس به نور را محدود می‌کند.
LAC4.JPG
از این نظر، اختراع SU8 توسط IBM سال‌ها باعث عدم پیشرفت این حوزه شد؛ چون این ماده هم حساسیت زیادی به نور داشت، هم می‌توانست به صورت لایه‌هایی ضخیم نشانده شود (ده‌ها میکرو متر). در طول مرحلهٔ در معرض قرار دادن یا مرحلهٔ تابش نور، عوامل زیادی دقت قرار دادن الگو روی پلیمر واسط را محدود می‌کند. یکی از آن‌ها اثر نیمه – نور است: همانطور که در شکل ۳نشان داده شده، پرتوی موازی ناشی از منبع پس از برخورد به ماسک روی سطح یک ناحیهٔ تاریک و ناحیهٔ نیمه روشن را پدید می‌آورد. نواحی ای که در نیمه – نور قرار دارند، نوری بین ناحیهٔ کاملاً تاریک و کاملاً روشن دریافت می‌کنند. مسئلهٔ دیگری که باعث محدودیت دقت این انتقال می‌شود، پراش است.

نکتهٔ قابل توجهی که در این سطح از پلیمر واسط وجود دارد، اندازهٔ ناحیه‌ای δاست که درآن پراش رخ می‌دهد، این ناحیه در حدود طول موج نور نیست و بیشتر از آن است. تخمین این ناحیه با فرمول زیر داده می‌شود:
{\displaystyle \delta \approx 3{\sqrt {\lambda s}}} {\displaystyle \delta \approx 3{\sqrt {\lambda s}}}
که λ طول موج نور تابیده شده است (فرض می‌شود که نور تک طول موج باشد.) و s ضخامت فیلم پلیمری است. در این فرمول فرض شده است که فاصلهٔ بین ماسک طرح نگاری نوریی و سطح بالایی پلیمر واسط از طول موج نور بیشتر است. با قرار دادن مقادیر متعارف، مقدار δ از این فرمول، ۳میکرومتر می‌شود. این مسئله محققان را مجبور می‌کند که با پلیمرهای واسطیی با ضخامت محدود و با طول موج‌های کم کار کنند.
پلیمرهای واسط متعارف
تقریباً تاکنون صحبت‌های مهمی در مورد پلیمرهای واسط شد. پلیمرهای واسطی که برای طرح نگاری نوری استفاده می‌شود باید خصوصیات زیر را داشته باشد:
کنتراست بالا بین ناحیه‌های حل شدنی و حل نشدنی.
حساسیت نوری بالا.
مقاومت بالا نسبت به دستهٔ خاصی از فاکتورهای شیمیایی.
محلول مورد نیاز برای طرح نگاری نوری از یک پلیمر حساس به نور، یک حلال (که گرانروی پلیمر واسط را کاهش می‌دهد، برای افزایش آن و حذف حلال از یک spincoater استفاده می‌شود) و یک ماده (برای کنترل جنبش ناشی از واکنش‌های نوری). برای پلیمر واسط مثبت، نور تابانده شده پیوندهای داخلی پلیمر واسط را می‌شکند یا ضعیف می‌کند، و آرایش ملکول‌های پلیمر واسط را عوض می‌کند تا به یک حل شونده تبدیل شود. برای پلیمر واسط منفی، تابش نور باعث شکل گیری پیوندهای کووالانسی بین زنجیره‌های اصلی و فرعی می‌شود و آن را نامحلول می‌کند و فرایند دیگری که در اینجا آن را توضیح نمی‌دهیم، باعث تبدیلش به یک حل شونده می‌شود. نمونه‌های از پلیمر واسط مثبت شامل PMMA(پلی متیل متا کریلات)، DQN(ترکیبی از دیازوکوینون و پلیمر واسط فنولین نوولاک) و AZ. این پلیمرهای واسط قابلیت حل شدن در بخش زیادی از محلول‌های پایه را دارند، مثل: KOH, TMAH، کتون و استات. مثال‌هایی برای پلیمر واسط منفی شامل KTFR و مهمترینش SU8 است، پلیمر واسط نسبتاً جدیدی که در مطالب قبل هم به آن اشاره شد.

این پلیمر واسط هم قابلیت استفاده به عنوان قالب و هم قابلیت تشکیل ساختار را دارد. در میکروساختارها انتخاب بین پلیمر واسط مثبت و منفی بدیهی نیست: پلیمر واسط منفی سازگاری بیشتری با سطوح پایه دارد، و مقاومت شیمیایی بالایی د ارد. با این حال، کنتراست حل شوندگی مناطق پلیمر واسط منفی کمتر از پلیمر واسط مثبت است. این فاکتورها معیارهای مهم انتخاب در فرایند میکروساختار است. بعد از مرحلهٔ تابش، مرحلهٔ نمو یا توسعه است. این مرحله شامل غوطه ور ساختن سیستم در یک مایع است. این مرحله باید در دمای کنترل شده‌ای با دقت و مراقبت انجام شود. لازم به یادآوری است که فرایندهای مربوطه حین مرحلهٔ نمو فیزیکی – شیمیایی است، و بنابراین به طور کلی وابستگی زیادی به دما دارد. پس، یا منطقهٔ تحت تابش قرار گرفته (برای پلیمر واسط مثبت) یا تحت تابش قرار نگرفته (برای پلیمر واسط منفی) حذف می‌شوند. فرایند طرح نگاری نوری با پلیمر کردن نهایی پلیمر واسط پایان می‌یابد که این مرحله شامل بالابردن دما از دمای گذار شیشه، به مدت چند دقیقه میباشد.
امیدواریم مطالب فوق برایتان مفید واقع شده باشد.

Code	Image	Description	Remedy
07		The Ready light and Go light are blinking. Fuser motor error 50019 Developer motor error 50023 Main motor error 50024	1. Turn the printer off and then back on. 2. If the error persists, replace the motor that causes the error.
08		The Ready light is blinking. Bad top-of-page sensor 50020 Top-of-page sensor error 50031	1. Clean the top-of-page sensor. 2. Replace the imaging drum. 3. If the error persists, replace the top-of-page sensor
09		The Attention and Go lights are on. T2 clutch error. 50022	1. Turn the printer off and then back on. 2. If the error persists, replace the clutch
10		The Attention and Ready lights are on. Carousel motor error 50025	1. Turn the printer off and then back on. 2. If the error persists, replace the motor

Code	Image	Description	Remedy
01		Accessory error. An error has occurred in the DIMM slot. The Attention light, Ready light, and Go light are blinking. The printer stops printing, and pressing any button has no effect.	1. Turn the printer off. CAUTION Inserting or removing DIMMs while power is supplied to the printer can damage the DIMMs. 2. Remove the DIMM and reinstall it to make sure that it is correctly installed. 3. Make sure that you are using a supported DIMM. See Accessories. 4. Move the DIMM to a different DIMM slot. If the DIMM works in a different slot, then DIMM slot 1 is malfunctioning. 5. To continue printing, remove the DIMM from DIMM slot 1.
02		The printer has a service error. The Attention light, Ready light, and Go light are on.	Press and hold (Go ) to see a secondary error light message, and then see the secondary error light messages in this table to identify the service error. You can also use the simulator in the printer driver or the event log messages to identify the service error.
03		The Ready light is on. Scanner error. 50005	1. Turn the printer off and then back on. 2. Turn the printer off, and then reseat the laser/scanner cable. 3. Replace the laser/scanner
04		The Attention light is blinking. Fan motor error. 50006	1. Turn the printer off. 2. Check cable connections to the fan. 3. Turn the printer back on. 4. If the error persists, replace the fan
05		The Attention light is on. Engine communication error. 50007 Dc controller memory error. 50021 The formatter is not communicating with the printer engine (50007). The dc controller is faulty (50021).	1. Turn the printer off and then back on. 2. Check the connections to the formatter and the dc controller. 3. Replace the formatter. 4. Replace the dc controller. 5. Replace the laser/scanner
06		The Ready and Go lights are on. Low fuser-temperature error 50008 Slow fuser error 50009 High fuser-temperature error 50010 Fuser drive-circuit error 50015	1. Turn the printer off for approximately 20 to 30 minutes. 2. If the printer is plugged into a power-strip or a UPS, unplug it and plug the printer power cord directly into a wall socket. 3. Turn the printer back on. 4. If the error persists, replace the fuser

Code	Display	Description	Remedy
-	Device error Press OK	A beam-detect error has occurred.	1. Press OK to continue. 2. If the message persists, turn the printer off then on.
-	Door open	If the top cover and front door are closed, the problem might be with the connections for the door-detection switch.	Close the top cover and front door. 1. Make sure the top cover and front door are closed. 2. If the message persists, make sure the following connectors are seated correctly: On the driver PCA, connectors J201, J202, and J203. On the DC controller, connectors J1022 and J1024. 3. Replace the DC controller PCA.
-	Engine comm. error	The printer experienced an internal communication error.	NOTE This is a warning message only. Output might be affected. 1. Plug the printer into a different power outlet. 2. Try a different power cord. 3. Disconnect all cables except the power cord. Turn the printer off and then on. 4. Make sure all orange packing material has been removed from inside the printer.
10.0000	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Black e-label memory error	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.0001	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Cyan e-label memory error	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.0002	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Magenta e-label memory error	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.0003	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Yellow e-label memory error	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.1000	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Black e-label missing	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.1001	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Cyan e-label missing	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.1002	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Magenta e-label missing	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
10.1003	10.XXXX Supply Error Reinstall	The printer cannot read or write to at least one print cartridge memory tag, or at least one memory tag is missing. Yellow e-label missing	1. Open the front door. 2. Remove the print cartridges, and then reinstall them. 3. Close the front door. 4. Turn the printer off and then on. 5. Clean the memory controller PCA contacts to the memory tag if they are dirty. 6. Replace the memory controller PCA if necessary. 7. Replace the DC controller PCA if necessary.
49	49 Error Turn off then on	A critical firmware error has occurred.	1. Turn the printer off and then on. 2. Try printing a job from a different program. If the job prints, try printing a different file from the original program. If the message appears only with a certain program or print job, contact the software vendor for assistance. 3. If the message persists with different programs and print jobs, disconnect all of the printer cables that connect to the network or the computer. 4. Turn the printer off. 5. Remove all memory DIMMs or thirdparty DIMMs from the printer. (Do not remove the firmware DIMM in the lower slot J1). 6. Remove the printer EIO card. 7. Turn the printer on. 8. If the error does not persist, install each DIMM and EIO device one at a time. Turn the printer off and then on again after installing each device. 9. Replace DIMMs and EIO devices as necessary. 10. Reconnect all of the printer cables. 11. If the error persists, replace the firmware DIMM. 12. Replace the formatter and calibrate the printer.
50.1	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. Low fuser temperature	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that connector J6007 on the fuser is seated correctly. Replace the connector as necessary. 3. Turn off the printer. 4. Remove the fuser. 5. If there is no conduction in the main thermistor, measure the resistance between fuser connectors J6007LA-1 and J6007LA-3. If the resistance is not 100 kohms to 3 Mohms, replace the fuser. 6. If there is no conduction in the fuser heater, measure the resistance between fuser connectors J6007LAF-1 and J6007-2. If the resistance is not 5 ohms to 1 kohms (100 to 127 V) or 20 ohms to 1 kohms (220 to 240 V), replace the fuser. 7. Replace the DC controller PCA.
50.2	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. Fuser-warmup service	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that connector J6007 on the fuser is seated correctly. Replace the connector as necessary. 3. Turn off the printer. 4. Remove the fuser. 5. If there is no conduction in the subthermistor, measure the resistance between fuser connectors J6007LA-2 and J6007LA-3. If the resistance is not 100 kohms to 3 Mohms, replace the fuser. 6. If there is no conduction in the fuser heater, measure the resistance between fuser connectors J6007LAF-1 and J6007-2. If the resistance is not 5 ohms to 1 kohms (100 to 127 V) or 20 ohms to 1 kohms (220 to 240 V), replace the fuser. 7. Replace the DC controller PCA.
50.3	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. High fuser temperature	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that connector J6007 on the fuser is seated correctly. Replace the connector as necessary. 3. Turn off the printer. 4. Remove the fuser. 5. Measure the resistance between fuser connectors J6007LA-1 and J6007LA-3. If the resistance is not 100 kohms to 3 Mohms, replace the fuser. 6. Replace the DC controller PCA.

Code	Display	Description	Remedy
50.4	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. Faulty fuser	1. Improve the power supply if the power supply frequency is not 40 to 70 Hz. 2. Replace the low-voltage power-supply PCA. 3. Replace the DC controller PCA.
50.7	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. Fuser pressure release mechanism failure	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that fuser connector J705, fuser motor connector J5008, and driver PCA connector J213 are seated correctly. 3. Replace the fuser drive assembly. 4. Replace the DC controller PCA.
50.8	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. Low fuser temperature (subthermistor)	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that connector J6007 on the fuser is seated correctly. Replace the connector as necessary. 3. Turn off the printer. 4. Remove the fuser. 5. If there is no conduction in the subthermistor, measure the resistance between fuser connectors J6007LA-1 and J6007LA-3. If the resistance is not 100 kohms to 3 Mohms, replace the fuser. 6. If there is no conduction in the fuser heater, measure the resistance between fuser connectors J6007LAF-1 and J6007-2. If the resistance is not 5 ohms to 1 kohms (100 to 127 V) or 20 ohms to 1 kohms (220 to 240 V), replace the fuser. 7. Replace the DC controller PCA.
50.9	50.X Fuser Error Turn off then on	A fuser error has occurred. High fuser temperature (subthermistor)	1. Verify the fuser is installed correctly and fully seated. 2. Check that connector J6007 on the fuser is seated correctly. Replace the connector as necessary. 3. Turn off the printer. 4. Remove the fuser. 5. Measure the resistance between fuser connectors J6007LA-2 and J6007LA-3. If the resistance is not 100 kohms to 3 Mohms, replace the fuser. 6. Replace the DC controller PCA.
51.20	51.XX Error Turn off then on	A printer error has occurred. Laser Black	1. Press OK to continue. 2. If the message persists, turn the printer off and then on. 3. Reseat DC controller connectors J1010, J1012, and J1021. 4. Replace the flat cable. 5. Replace the DC controller PCA as necessary.
51.21	51.XX Error Turn off then on	A printer error has occurred. Laser Cyan	1. Press OK to continue. 2. If the message persists, turn the printer off and then on. 3. Reseat DC controller connectors J1010, J1012, and J1021. 4. Replace the flat cable. 5. Replace the DC controller PCA as necessary.
51.22	51.XX Error Turn off then on	A printer error has occurred. Laser Yellow	1. Press OK to continue. 2. If the message persists, turn the printer off and then on. 3. Reseat DC controller connectors J1010, J1012, and J1021. 4. Replace the flat cable. 5. Replace the DC controller PCA as necessary.
51.23	51.XX Error Turn off then on	A printer error has occurred. Laser Magenta	1. Press OK to continue. 2. If the message persists, turn the printer off and then on. 3. Reseat DC controller connectors J1010, J1012, and J1021. 4. Replace the flat cable. 5. Replace the DC controller PCA as necessary.
54.15	54.XX Error	An error has occurred with one of the tonerlevel sensors. Yellow	1. Make sure that connector J1020 on the DC controller is seated correctly. 2. Replace the DC controller PCA.
54.16	54.XX Error	An error has occurred with one of the tonerlevel sensors. Magenta	1. Make sure that connector J1020 on the DC controller is seated correctly. 2. Replace the DC controller PCA.
54.17	54.XX Error	An error has occurred with one of the tonerlevel sensors. Cyan	1. Make sure that connector J1020 on the DC controller is seated correctly. 2. Replace the DC controller PCA.
54.18	54.XX Error	An error has occurred with one of the tonerlevel sensors. Black	1. Make sure that connector J1020 on the DC controller is seated correctly. 2. Replace the DC controller PCA.
55.X	55.X Error Turn off then on	A communication error between the DC controller and the formatter has occurred.	1. Turn the printer off. 2. Reconnect the connector between the DC controller and the formatter. 3. Replace the DC controller PCA.
56.XX	56.XX Error	One of the trays is installed incorrectly.	Make sure tray 2 and optional tray 3 are completely closed.
57.XX	57.XX Error Turn off then on	A printer fan error has occurred.	1. Check that connector J1008 on the DC controller is seated correctly. 2. Replace the fan. 3. Replace the DC controller PCA.

Code	Display	Description	Remedy
59.30	59.30 Error	An error occurred with the fuser motor during startup or rotation.	1. Turn the printer off then on. 2. Check that connectors J5008 on the fuser motor and J213 on the driver PCA are seated correctly. 3. Replace the fuser. 4. Replace the fuser drive motor.
59.40	59.40 Error	An error occurred with the fuser motor during startup or rotation.	1. Turn the printer off then on. 2. Check that connectors J5008 on the fuser motor and J213 on the driver PCA are seated correctly. 3. Replace the fuser. 4. Replace the fuser drive motor.
59.50	59.50 Error	An error occurred with the black printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5006 on the black print-cartridge drive motor and J208 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the black print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.51	59.51 Error	An error occurred with the cyan printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5004 on the cyan print-cartridge drive motor and J207 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the cyan print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.52	59.52 Error	An error occurred with the magenta printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5003 on the magenta print-cartridge drive motor and J207 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the magenta print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.53	59.53 Error	An error occurred with the yellow printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5005 on the yellow print-cartridge drive motor and J208 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the yellow print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.60	59.60 Error	An error occurred with the black printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5006 on the black print-cartridge drive motor and J208 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the black print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.61	59.61 Error	An error occurred with the cyan printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5004 on the cyan print-cartridge drive motor and J207 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the cyan print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.62	59.62 Error	An error occurred with the magenta printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5003 on the magenta print-cartridge drive motor and J207 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the magenta print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.63	59.63 Error	An error occurred with the yellow printcartridge drive motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5005 on the yellow print-cartridge drive motor and J208 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the yellow print-cartridge drive motor. 3. Replace the driver PCA.
59.73	59.73 Error	An error occurred with the developer motor.	1. Check that connectors J403 and J405 on the driver PCA are seated correctly. 2. Check that connector J1020 on the DC controller PCA is seated correctly. 3. Check that connector J5008 on the fuser motor and J213 on the driver PCA are seated correctly. 4. Replace the developer motor solenoid (s). 5. Replace the memory tag PCA. 6. Replace the fuser.
59.83	59.83 Error	An error occurred with the developer motor.	1. Check that connectors J403 and J405 on the driver PCA are seated correctly. 2. Check that connector J1020 on the DC controller PCA is seated correctly. 3. Check that connector J5008 on the fuser motor and J213 on the driver PCA are seated correctly. 4. Replace the developer motor solenoid (s). 5. Replace the memory tag PCA. 6. Replace the fuser.
59.90	59.90 Error	An error occurred with the ETB motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5002 on the ETB motor and J206 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the ETB. 3. Replace the driver PCA.
59.A0	59.A0 Error	An error occurred with the ETB motor during startup or rotation.	1. Check that connectors J5002 on the ETB motor and J206 on the driver PCA are seated correctly. 2. Replace the ETB. 3. Replace the driver PCA.
59.C0	59.C0 Error	An error occurred with the developing separation-drive assembly.	1. Check that the following connectors on the driver PCA are seated correctly: J403, J405, J213. 2. Check that connector J1020 on the DC controller is seated correctly. 3. Check that connector J5008 on the fuser motor is seated correctly. 4. Replace the developing separationdrive assembly. 5. Replace the fuser.